Sputtervorrichtung, Magnetron-Elektrode und Elektrodenanordnung

EP2009670 Art A1 31. Dezember 2008

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2009670
Aktenzeichen
EP07111326
Anmeldetag
28. Juni 2007
Veröffentlichung
31. Dezember 2008
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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