Cvd-Reaktor mit Absenkbarer Prozesskammerdecke
EP2010693
Art B1
28. März 2012
Anmelder: Aixtron SE, AIXTRON AG, Aixtron AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2010693
- Aktenzeichen
- EP07728168
- Anmeldetag
- 17. April 2007
- Veröffentlichung
- 28. März 2012
- Erteilung
- 28. März 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/44C23C16/46C23C16/455
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Aixtron SE
AIXTRON AG
Aixtron AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Aixtron
Aixtron ist ein deutscher Hersteller von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie. Der Patentbestand konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Verfahrens- und Messtechnik. Die Anmeldungen aus 2000 bis 2025 betreffen unter anderem die Reinigung und den Betrieb von CVD-Reaktoren.
303 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Rieder, Hans-Joachim
Wuppertal, Deutschland
113
Patente gesamt
22
Fachgebiete
10
Anmelder-Länder
Schwerpunkte