Bandbreitenmessvorrichtung für Gepulsten Laser mit Hoher Impulsfrequenz

EP2010861 Art A2 7. Januar 2009

Anmelder: Cymer, LLC, Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2010861
Aktenzeichen: EP07753888
Anmeldetag: 23. März 2007
Veröffentlichung: 7. Januar 2009
Rechtsraum: EP
IPC: G01B9/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Cymer, LLC
Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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