Verfahren zur Reinigung von Ablagerungskammerteilen mithilfe der selektiven Spritzätzung

EP2011897 Art B8 28. September 2011

Anmelder: Quantum Global Technologies, LLC, Quantam Global Technologies, LLC, Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2011897
Aktenzeichen: EP08159251
Anmeldetag: 27. Juni 2008
Veröffentlichung: 28. September 2011
Erteilung: 28. September 2011
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/56C23C16/44C23G3/00C23G1/00C23F1/44C23F1/26C23F1/00C23F1/08B08B3/08C23G1/12B05B12/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Quantum Global Technologies, LLC
Quantam Global Technologies, LLC
Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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