Verfahren zur Messung des Abstands zwischen Referenzreflektor und Schmelzeoberfläche
EP2011905
Art B1
21. Dezember 2016
Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2011905
- Aktenzeichen
- EP07707766
- Anmeldetag
- 31. Januar 2007
- Veröffentlichung
- 21. Dezember 2016
- Erteilung
- 21. Dezember 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C30B29/06C30B15/26C30B30/04C30B15/30
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Handotai
Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.
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Fachgebiete
Kanzlei
Wuesthoff & Wuesthoff
München, Deutschland
Wuesthoff & Wuesthoff wurde 1927 in Berlin von Dr. Franz und Dr. Freda Wuesthoff gegründet, die erste deutsche Patentanwältin, und zog 1949 nach München. Schwerpunkte liegen in Biotechnologie und Life Sciences, beraten wird auch auf Chinesisch, Koreanisch und Japanisch.
29.952
Patente gesamt
15
Patentanwälte
1
Standorte