Verfahren zur Behebung einer Beschädigung an einem Isolationsfilm
EP2012349
Art A1
7. Januar 2009
Anmelder: Taiyo Nippon Sanso Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2012349
- Aktenzeichen
- EP07741863
- Anmeldetag
- 18. April 2007
- Veröffentlichung
- 7. Januar 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/316H01L21/3065
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Taiyo Nippon Sanso Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Taiyo Nippon Sanso
Taiyo Nippon Sanso ist ein japanischer Hersteller von Industriegasen und zugehörigen Anlagen, Teil der Mitsubishi-Chemical-Gruppe. Der Patentbestand konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Wärme-, Fertigungs- und Werkstofftechnik.
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Waldren, Robin Michael
London, Großbritannien
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