Nichtthermischer Plasmareaktor des Flachtyps
EP2013899
Art A1
14. Januar 2009
Anmelder: KOREA INSTITUTE OF MACHINERY & MATERIALS 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2013899
- Aktenzeichen
- EP06835275
- Anmeldetag
- 19. Dezember 2006
- Veröffentlichung
- 14. Januar 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KOREA INSTITUTE OF MACHINERY & MATERIALS
- Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇰🇷
Korea Institute of Machinery & Materials
Das Korea Institute of Machinery & Materials ist ein staatliches südkoreanisches Forschungsinstitut für Maschinenbau und Werkstofftechnik. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug-, Fertigungs- und Drucktechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch Verfahrenstechnik und Messtechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.
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Beier, Ralph
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