Verfahren zur Herstellung eines Transistor-Gate mit Zerlegung eines Precursor-Materials in mindestens ein Metallmaterial mittels mindestens eines Elektronenstrahls
EP2013902
Art B1
3. Januar 2018
Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives, Commissariat à l'Energie Atomique 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2013902
- Aktenzeichen
- EP07728767
- Anmeldetag
- 3. Mai 2007
- Veröffentlichung
- 3. Januar 2018
- Erteilung
- 3. Januar 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/336H01L29/786C23C16/04C23C16/18H01L21/3205H01L29/423
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
Commissariat à l'Energie Atomique - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.
8.392 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Ilgart, Jean-Christophe
Paris, Frankreich
2.520
Patente gesamt
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Fachgebiete
23
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