Verfahren zur Herstellung einer mikroelektromechanischen Systemvorrichtung unter Vermeidung einer Opferschicht
EP2014612
Art B1
18. Dezember 2013
Anmelder: Hitachi, Ltd., Hitachi Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2014612
- Aktenzeichen
- EP08011540
- Anmeldetag
- 25. Juni 2008
- Veröffentlichung
- 18. Dezember 2013
- Erteilung
- 18. Dezember 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B81C1/00G01P15/125G01P15/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Hitachi, Ltd.
Hitachi Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Hitachi
Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Matias, Bruno M
München, Deutschland
106
Patente gesamt
18
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4
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Weitere Vertreter
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MERH-IP Matias Erny Reichl Hoffmann Patentanwälte PartG mbB
MERH-IP Matias Erny Reichl Hoffmann Patentanwälte PartG mbB · München
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MERH-IP Matias Erny Reichl Hoffmann
MERH-IP Matias Erny Reichl Hoffmann · München