Photoneninduzierte Kupferätzung
EP2015352
Art A3
11. November 2009
Anmelder: IMEC, Katholieke Universiteit Leuven Research & Development, INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM VZW 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2015352
- Aktenzeichen
- EP08159218
- Anmeldetag
- 27. Juni 2008
- Veröffentlichung
- 11. November 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/3213
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMEC
Katholieke Universiteit Leuven Research & Development
INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM VZW - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Bird, William Edward
Heverlee, Belgien
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