Zusammensetzung für einen Positiv-Fotoresist und Dadurch Hergestellter Positiv-Fotoresistfilm

EP2016463 Art A1 21. Januar 2009

Anmelder: KOLON INDUSTRIES, INC. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2016463
Aktenzeichen
EP07745866
Anmeldetag
6. April 2007
Veröffentlichung
21. Januar 2009
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/008H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KOLON INDUSTRIES, INC.
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Kolon Industries

Südkoreanischer Mischkonzern, tätig in Chemie- und Materialtechnik, Herstellung von Industriefasern, Kunststoffen und Textilprodukten.

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