Zubereitung für eine wässrige Dispersion zum chemisch-mechanischen Polieren, Verfahren zur Herstellung einer wässrigen Dispersion zum chemisch-mechanischen Polieren, wässrige Dispersion zum chemisch-mechanischen Polieren und Verfahren zum chemisch-mechanischen Polieren

EP2017318 Art B1 30. Mai 2012

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2017318
Aktenzeichen: EP08157831
Anmeldetag: 9. Juni 2008
Veröffentlichung: 30. Mai 2012
Erteilung: 30. Mai 2012
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/321C09K3/14// C09G1/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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