Niedrigtemperaturabscheidung von Speicherstoffen

EP2018642 Art A2 28. Januar 2009

Anmelder: ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2018642
Aktenzeichen
EP07758385
Anmeldetag
12. März 2007
Veröffentlichung
28. Januar 2009
Rechtsraum
EP
IPC
C07F7/30G11C13/00C23C16/455C23C16/30
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Advanced Technology Materials

Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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Kanzlei
Sonnenberg Harrison Partnerschaft mbB München, Deutschland

Aus der Kanzlei Sonnenberg Fortmann hervorgegangen, Teil der internationalen 24IP Law Group mit Büros in Berlin, London, Paris und den USA. Deckt neben Patenten auch Markenrecht, das Einheitliche Patentgericht sowie Datenschutz ab.

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