Erzeugungsverfahren für Fotomaskendaten, Herstellungsverfahren für Fotomasken, Belichtungsverfahren und Herstellungsverfahren für Bauelemente
EP2019332
Art B1
16. Juni 2010
Anmelder: Canon Kabushiki Kaisha 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2019332
- Aktenzeichen
- EP08161096
- Anmeldetag
- 24. Juli 2008
- Veröffentlichung
- 16. Juni 2010
- Erteilung
- 16. Juni 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/14
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Canon Kabushiki Kaisha
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon
Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.
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Fachgebiete
Weitere Vertreter
-
Sharp, Alan Cooper
NoneHayes