Elektronenmikroskop mit Elektronenspektrometer

EP2020674 Art A3 13. Januar 2010

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2020674
Aktenzeichen
EP08013707
Anmeldetag
30. Juli 2008
Veröffentlichung
13. Januar 2010
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/26H01J37/302H01J37/05H01J37/22
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hitachi High-Technologies Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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