Polierflüssigkeit für Cmp und Polierverfahren

EP2020680 Art A1 4. Februar 2009

Anmelder: Hitachi Chemical Company, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2020680
Aktenzeichen: EP07742231
Anmeldetag: 24. April 2007
Veröffentlichung: 4. Februar 2009
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/321B24B37/00C09G1/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi Chemical Company, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi Chemical

Ehemaliges japanisches Chemieunternehmen, das Materialien für Halbleiter, Batterien und Verbundwerkstoffe herstellte. Ging nach mehreren Umfirmierungen im Konzern Resonac auf.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von