Quellenbehälter eines Vpe-Reaktors
EP2021532
Art B1
23. März 2011
Anmelder: Aixtron SE, AIXTRON AG, Aixtron AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2021532
- Aktenzeichen
- EP07728836
- Anmeldetag
- 7. Mai 2007
- Veröffentlichung
- 23. März 2011
- Erteilung
- 23. März 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C30B25/14C23C16/458
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Aixtron SE
AIXTRON AG
Aixtron AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Aixtron
Aixtron ist ein deutscher Hersteller von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie. Der Patentbestand konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Verfahrens- und Messtechnik. Die Anmeldungen aus 2000 bis 2025 betreffen unter anderem die Reinigung und den Betrieb von CVD-Reaktoren.
303 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Rieder, Hans-Joachim
Wuppertal, Deutschland
113
Patente gesamt
22
Fachgebiete
10
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Schwerpunkte