Symmetrisches Objektiv mit Vier Linsengruppen zur Mikrolithographie

EP2021854 Art A2 11. Februar 2009

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2021854
Aktenzeichen: EP07783270
Anmeldetag: 4. Mai 2007
Veröffentlichung: 11. Februar 2009
Rechtsraum: EP
IPC: G02B13/14G02B13/26G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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