Verfahren und Vorrichtung zur Lichtanregung von Chemischen Stoffen für Atomschichtabscheidung eines Dielektrischen Films

EP2022084 Art A2 11. Februar 2009

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2022084
Aktenzeichen: EP07761753
Anmeldetag: 2. Mai 2007
Veröffentlichung: 11. Februar 2009
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/31C30B23/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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