Verfahren zum Selektiven Bilden einer Atomisch Flachen Ebene auf einer Diamantoberfläche, durch das Verfahren Hergestelltes Diamantsubstrat und Halbleiterelement damit

EP2023381 Art A1 11. Februar 2009

Anmelder: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2023381
Aktenzeichen
EP07742189
Anmeldetag
23. April 2007
Veröffentlichung
11. Februar 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/205H01L21/02C23C16/27C23C16/511C30B29/04C30B25/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.

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