Reinigung Elektrostatischer Spannfutter unter Verwendung von Ultraschall-Bewegung und Angelegte Elektrische Felder
EP2024108
Art B1
25. Juni 2014
Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2024108
- Aktenzeichen
- EP06845188
- Anmeldetag
- 11. Dezember 2006
- Veröffentlichung
- 25. Juni 2014
- Erteilung
- 25. Juni 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B08B3/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Lam Research Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Morf, Jan Stefan
NoneMünchen