Reinigung Elektrostatischer Spannfutter unter Verwendung von Ultraschall-Bewegung und Angelegte Elektrische Felder

EP2024108 Art B1 25. Juni 2014

Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2024108
Aktenzeichen
EP06845188
Anmeldetag
11. Dezember 2006
Veröffentlichung
25. Juni 2014
Erteilung
25. Juni 2014
Rechtsraum
EP
IPC
B08B3/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Lam Research Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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