Verfahren zur Verhinderung von Metallverunreinigung durch einen Substrathalter

EP2024994 Art B1 23. April 2014

Anmelder: Sulzer Metaplas GmbH, NV Bekaert SA 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2024994
Aktenzeichen: EP07729748
Anmeldetag: 31. Mai 2007
Veröffentlichung: 23. April 2014
Erteilung: 23. April 2014
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/687C23C16/26C23C14/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Sulzer Metaplas GmbH
NV Bekaert SA
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇧🇪 NV Bekaert SA

Belgisches Unternehmen für Stahldrahtprodukte und Beschichtungstechnologien mit Sitz in Zwevegem. Patente betreffen Drahtherstellung und Oberflächenbeschichtung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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