Vorläuferzusammensetzung für Poröse Membran, Verfahren zur Herstellung der Vorläuferzusammensetzung, Poröse Membran, Verfahren zur Herstellung der Porösen Membran und Halbleitervorrichtung
EP2025709
Art A1
18. Februar 2009
Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2025709
- Aktenzeichen
- EP07743462
- Anmeldetag
- 16. Mai 2007
- Veröffentlichung
- 18. Februar 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C08J9/36C08G77/18C09D5/25C09D7/12C09D183/04H01L21/312H01L21/316
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, INC.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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