Photoneninduzierte Reinigung einer Reaktionskammer

EP2025775 Art A1 18. Februar 2009

Anmelder: IMEC, KU Leuven Research & Development, INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2025775
Aktenzeichen
EP08159125
Anmeldetag
26. Juni 2008
Veröffentlichung
18. Februar 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/32C23C14/56C23C16/44C23F4/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC
KU Leuven Research & Development
INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM VZW
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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🇧🇪 KU Leuven Research & Development

Technologietransferstelle der belgischen Katholieke Universiteit Leuven, verwaltet geistiges Eigentum und überführt Forschungsergebnisse in Lizenzen und Ausgründungen.

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