Photoneninduzierte Reinigung einer Reaktionskammer
EP2025775
Art A1
18. Februar 2009
Anmelder: IMEC, KU Leuven Research & Development, INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM VZW 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2025775
- Aktenzeichen
- EP08159125
- Anmeldetag
- 26. Juni 2008
- Veröffentlichung
- 18. Februar 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32C23C14/56C23C16/44C23F4/00
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- IMEC
KU Leuven Research & Development
INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM VZW - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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🇧🇪
KU Leuven Research & Development
Technologietransferstelle der belgischen Katholieke Universiteit Leuven, verwaltet geistiges Eigentum und überführt Forschungsergebnisse in Lizenzen und Ausgründungen.
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Vertreten von
Bird, William Edward
Heverlee, Belgien
884
Patente gesamt
31
Fachgebiete
19
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Schwerpunkte