Gewundene Lithographiereihenfolge

EP2026131 Art B1 26. Februar 2014

Anmelder: ASML Netherlands BV 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2026131
Aktenzeichen
EP08252658
Anmeldetag
8. August 2008
Veröffentlichung
26. Februar 2014
Erteilung
26. Februar 2014
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/00G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands BV
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML Netherlands

ASML Netherlands B.V. ist die niederländische Kernsparte des weltweit führenden Herstellers von Lithografiesystemen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Veldhoven. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Optik und Fototechnik, ergänzt um Elektronik, elektrische Energietechnik und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2020.

390 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Vertreten von
Weenink, Willem Veldhoven, Niederlande
78
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4
Fachgebiete
2
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