Verfahren zur Herstellung von Silizium-Nanoröhren unter Verwendung einer Torusförmigen Katalytischen Metallschicht

EP2027059 Art A1 25. Februar 2009

Anmelder: Electronics and Telecommunications Research Institute 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2027059
Aktenzeichen
EP06824014
Anmeldetag
8. Dezember 2006
Veröffentlichung
25. Februar 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02H01L21/20C01B33/02C01B33/027C30B25/00C30B29/06C30B29/60H01L29/06H01L29/16
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Electronics and Telecommunications Research Institute
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 ETRI (Electronics and Telecommunications Research Institute)

Südkoreanisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Daejeon. Forscht in Telekommunikation, Halbleitertechnik, künstlicher Intelligenz, Rundfunktechnik und Informations- und Kommunikationstechnologien.

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