Verfahren zur Herstellung von Silizium-Nanoröhren unter Verwendung einer Torusförmigen Katalytischen Metallschicht
EP2027059
Art A1
25. Februar 2009
Anmelder: Electronics and Telecommunications Research Institute 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2027059
- Aktenzeichen
- EP06824014
- Anmeldetag
- 8. Dezember 2006
- Veröffentlichung
- 25. Februar 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02H01L21/20C01B33/02C01B33/027C30B25/00C30B29/06C30B29/60H01L29/06H01L29/16
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Electronics and Telecommunications Research Institute
- Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇰🇷
ETRI (Electronics and Telecommunications Research Institute)
Südkoreanisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Daejeon. Forscht in Telekommunikation, Halbleitertechnik, künstlicher Intelligenz, Rundfunktechnik und Informations- und Kommunikationstechnologien.
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Vertreten von
-
Betten & Resch
Betten & Resch · München