Verfahren zum Bilden einer Materialschicht Mithilfe eines Atomschicht-Abscheidungsverfahrens

EP2027304 Art A2 25. Februar 2009

Anmelder: Micron Technology, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2027304
Aktenzeichen
EP07797518
Anmeldetag
17. Mai 2007
Veröffentlichung
25. Februar 2009
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/455C23C16/509
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Micron Technology, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Micron Technology

US-amerikanisches Halbleiterunternehmen mit Sitz in Boise, Idaho. Micron entwickelt und fertigt Speicherchips wie DRAM und NAND-Flash sowie Speicherlösungen für Computer, Mobilgeräte, Rechenzentren und Automobile.

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