Massensensitive Dünnschichtresonatoren für Schichtdickenmasssysteme

EP2027435 Art A1 25. Februar 2009

Anmelder: Albert-Ludwigs-Universität Freiburg 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2027435
Aktenzeichen: EP07725761
Anmeldetag: 1. Juni 2007
Veröffentlichung: 25. Februar 2009
Rechtsraum: EP
IPC: G01B7/06H03H9/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Albert-Ludwigs-Universität Freiburg

Deutsche Universität in Freiburg im Breisgau mit Forschung und Lehre in zahlreichen Fachbereichen, darunter Naturwissenschaften, Medizin und Mikrosystemtechnik.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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