Mechanismus zum Verändern der Endlage eines Zylinders und Substratverarbeitungsvorrichtung damit

EP2028378 Art A3 5. Mai 2010

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2028378
Aktenzeichen: EP08014930
Anmeldetag: 22. August 2008
Veröffentlichung: 5. Mai 2010
Rechtsraum: EP
IPC: F15B15/24H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik

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