Flüssigkeitszufuhrvorrichtung mit Parallelbypass sowie Verfahren und Vorrichtung zur Steuerung der dafür verwendeten variablen Durchsatzrate des Flüssigkeitsdrucksystems
EP2028577
Art A2
25. Februar 2009
Anmelder: Fujikin Incorporated, TOKYO ELECTRON LIMITED, Ohmi, Tadahiro 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2028577
- Aktenzeichen
- EP08006286
- Anmeldetag
- 3. April 2000
- Veröffentlichung
- 25. Februar 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G05D7/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Fujikin Incorporated
TOKYO ELECTRON LIMITED
Ohmi, Tadahiro - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Fujikin
Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
452 Patente in unserer Datenbank
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
6.253 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Hector, Annabel Mary
London, Großbritannien
246
Patente gesamt
28
Fachgebiete
12
Anmelder-Länder
Schwerpunkte