Reflexionsmaskenrohling für Euv-Lithographie

EP2028681 Art B1 23. April 2014

Anmelder: Asahi Glass Company, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2028681
Aktenzeichen: EP08706000
Anmeldetag: 15. Januar 2008
Veröffentlichung: 23. April 2014
Erteilung: 23. April 2014
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G03F7/20G03F1/00G03F1/46G03F1/58G03F1/24

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Asahi Glass Company, Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 AGC (Asahi Glass)

Japanischer Glas- und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, früher als Asahi Glass Company firmierend. AGC entwickelt Flachglas, elektronische Materialien, Spezialchemikalien sowie Glasprodukte für Automobil-, Bau- und Elektronikindustrie.

7.331 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von