Verfahren zur Bildung von High-K-Filmen auf Basis von Neuen Titan-, Zirconium- und Hafniumvorläufern und Ihre Verwendung für die Halbleiterfertigung
EP2029790
Art A1
4. März 2009
Anmelder: L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2029790
- Aktenzeichen
- EP06777267
- Anmeldetag
- 2. Juni 2006
- Veröffentlichung
- 4. März 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/18
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Air Liquide
Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.
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Vertreten von
Conan, Philippe Claude
Paris, Frankreich
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