Projektionsobjektiv eines Mikrolithografischen Projektionsbelichtungsgeräts
EP2030070
Art A1
4. März 2009
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2030070
- Aktenzeichen
- EP07764671
- Anmeldetag
- 15. Juni 2007
- Veröffentlichung
- 4. März 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B27/00G03F7/20G02B5/30
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Schwanhäusser, Gernot
Stuttgart, Deutschland
171
Patente gesamt
25
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte