Verfahren zur Verunreinigungskontrolle einer Oberfläche
EP2030083
Art B1
18. September 2013
Anmelder: Edwards Limited, Cambridge Enterprise Limited 🇬🇧
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2030083
- Aktenzeichen
- EP07733719
- Anmeldetag
- 25. Mai 2007
- Veröffentlichung
- 18. September 2013
- Erteilung
- 18. September 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Edwards Limited
Cambridge Enterprise Limited - Land
- 🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧
Edwards Limited
Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.
524 Patente in unserer Datenbank
🇬🇧
Cambridge Enterprise
Technologietransfer- und Kommerzialisierungsgesellschaft der University of Cambridge (Großbritannien), die Erfindungen und Ausgründungen aus der Universitätsforschung vermarktet.
900 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Clark, Charles Robert
West, Großbritannien
370
Patente gesamt
23
Fachgebiete
8
Anmelder-Länder
Schwerpunkte