Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung einer Wärmebehandlung eines Mikrotechnologischen Substrats
EP2030231
Art B1
15. Dezember 2010
Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2030231
- Aktenzeichen
- EP07788866
- Anmeldetag
- 11. Juni 2007
- Veröffentlichung
- 15. Dezember 2010
- Erteilung
- 15. Dezember 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/762
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)
Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.
5.929 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Quantin, Bruno Marie Henri
Paris, Frankreich
210
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31
Fachgebiete
11
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Schwerpunkte