Hochleistungs-Steuergerät für ein System zur Bearbeitung eines Laser-Flachtafel-Werkstücks

EP2030293 Art A2 4. März 2009

Anmelder: Cymer, LLC, Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2030293
Aktenzeichen: EP07809287
Anmeldetag: 31. Mai 2007
Veröffentlichung: 4. März 2009
Rechtsraum: EP
IPC: H01S3/22C30B29/06C30B13/24C30B35/00C30B33/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Cymer, LLC
Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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