Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen eines Plasmas sowie Verwendung Derselben

EP2030490 Art B1 6. Juli 2016

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der Angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2030490
Aktenzeichen: EP07725418
Anmeldetag: 22. Mai 2007
Veröffentlichung: 6. Juli 2016
Erteilung: 6. Juli 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32H05H1/50

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der Angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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