Norbornenpolymerzusammensetzungen für Deckschichten und lithographisches Immersionsverfahren unter deren Verwendung

EP2031007 Art B1 20. Juli 2011

Anmelder: Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd., Promerus LLC, TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2031007
Aktenzeichen: EP08019326
Anmeldetag: 21. Februar 2006
Veröffentlichung: 20. Juli 2011
Erteilung: 20. Juli 2011
Rechtsraum: EP
IPC: C08G61/06G03F7/039G03F7/11G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.
Promerus LLC
TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Ohka Kogyo

Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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