Nasser Reinigungsvorgang zur Rückgewinnung von Kammerteilen
EP2031088
Art A3
18. Mai 2011
Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2031088
- Aktenzeichen
- EP08162492
- Anmeldetag
- 18. August 2008
- Veröffentlichung
- 18. Mai 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/44C23G1/12H01J37/32B08B3/08C09K13/08H01L21/02H01L21/321
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Vertreten von
Peterreins, Frank
München, Deutschland
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