Chemisch verstärkte Resistzusammensetzung und Verfahren zur Strukturformung damit

EP2031445 Art A3 13. Mai 2009

Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2031445
Aktenzeichen
EP08016147
Anmeldetag
18. August 2005
Veröffentlichung
13. Mai 2009
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/004G03F7/039
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FUJIFILM Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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