Behandlungsvorrichtung, Behandlungsverfahren und Plasmaquelle

EP2031646 Art A1 4. März 2009

Anmelder: River Bell Co., TOKYO INSTITUTE OF TECHNOLOGY 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2031646
Aktenzeichen: EP07742028
Anmeldetag: 20. April 2007
Veröffentlichung: 4. März 2009
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: River Bell Co.
TOKYO INSTITUTE OF TECHNOLOGY
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Institute of Technology

Japanische technische Universität in Tokio mit Schwerpunkt auf Natur- und Ingenieurwissenschaften. Seit 2024 firmiert sie im Zuge einer Fusion als Institute of Science Tokyo.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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