Verbesserte Plasmakammerreinigung durch Hinzufügen einer Edelgas-Reinigungsstufe
EP2034046
Art B1
12. Februar 2014
Anmelder: IMEC, Katholieke Universiteit Leuven, Interuniversitair Micro-Electronica Centrum (IMEC) vzw 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2034046
- Aktenzeichen
- EP08163870
- Anmeldetag
- 8. September 2008
- Veröffentlichung
- 12. Februar 2014
- Erteilung
- 12. Februar 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/44B08B7/00
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- IMEC
Katholieke Universiteit Leuven
Interuniversitair Micro-Electronica Centrum (IMEC) vzw - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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🇧🇪
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