Verbesserte Plasmakammerreinigung durch Hinzufügen einer Edelgas-Reinigungsstufe
EP2034046
Art B1
12. Februar 2014
Anmelder: IMEC, Katholieke Universiteit Leuven, Interuniversitair Micro-Electronica Centrum (IMEC) vzw 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2034046
- Aktenzeichen
- EP08163870
- Anmeldetag
- 8. September 2008
- Veröffentlichung
- 12. Februar 2014
- Erteilung
- 12. Februar 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/44B08B7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMEC
Katholieke Universiteit Leuven
Interuniversitair Micro-Electronica Centrum (IMEC) vzw - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
Katholieke Universiteit Leuven
Belgische Universität in Leuven mit umfangreicher Forschung in Naturwissenschaften, Technik und Medizin, die auch Patente aus Forschungsprojekten hervorbringt.
720 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Bird, William Edward
Heverlee, Belgien
884
Patente gesamt
31
Fachgebiete
19
Anmelder-Länder
Schwerpunkte