Diamantenelektronen-Strahlungskathode, Elektronenquelle, Elektronenmikroskop und Elektronenstrahlbelichtungsvorrichtung
EP2034504
Art A1
11. März 2009
Anmelder: Sumitomo Electric Industries, Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2034504
- Aktenzeichen
- EP07767687
- Anmeldetag
- 27. Juni 2007
- Veröffentlichung
- 11. März 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J1/304H01J37/073H01L21/027
Abstract
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Anmelder
- Firma
- Sumitomo Electric Industries, Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Sumitomo Electric Industries
Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Osaka, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Kabel- und Glasfasertechnologie, Halbleitern, Automobilkomponenten sowie Elektronik- und Werkstofftechnik.
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Vertreten von
Cross, Rupert Edward Blount
London, Großbritannien
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