Schleifartikel, Cmp-Überwachungssystem und Entsprechendes Verfahren

EP2035187 Art A2 18. März 2009

Anmelder: 3M Innovative Properties Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2035187
Aktenzeichen
EP07811930
Anmeldetag
24. Mai 2007
Veröffentlichung
18. März 2009
Rechtsraum
EP
IPC
B24B37/04B24B49/12H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
3M Innovative Properties Company
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 3M Innovative Properties

US-amerikanische Tochtergesellschaft des Mischkonzerns 3M, verwaltet Patente und geistiges Eigentum für Produkte aus Bereichen Klebetechnik, Materialwissenschaft und Konsumgüter.

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