Verfahren zur Aufrechterhaltung einer Niedrigen Feuchtigkeitsumgebung auf mehreren Retikels

EP2035320 Art A2 18. März 2009

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2035320
Aktenzeichen
EP07809746
Anmeldetag
19. Juni 2007
Veröffentlichung
18. März 2009
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20H01L21/673
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen