Reinigungsvorrichtung und Reinigungsverfahren für einen Plasmareaktor

EP2035597 Art B1 7. März 2012

Anmelder: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE -CNRS-, UNIVERSITE JOSEPH FOURIER - Grenoble 1, CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS) 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2035597
Aktenzeichen
EP07765396
Anmeldetag
13. Juni 2007
Veröffentlichung
7. März 2012
Erteilung
7. März 2012
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/44B08B7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE -CNRS-
UNIVERSITE JOSEPH FOURIER - Grenoble 1
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS)
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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