Verfahren zur Regelung eines Reaktiven Hochleistungs-Puls-Magnetronsputterprozesses und Vorrichtung Hierzu

EP2036113 Art B1 8. Mai 2013

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2036113
Aktenzeichen: EP07764755
Anmeldetag: 20. Juni 2007
Veröffentlichung: 8. Mai 2013
Erteilung: 8. Mai 2013
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/34C23C14/00C23C14/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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