Verfahren zur Herstellung von Silicium-Nanodrähten unter Verwendung eines Silicium-Nanopunkt-Dünnfilms

EP2036117 Art A1 18. März 2009

Anmelder: Electronics and Telecommunications Research Institute 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2036117
Aktenzeichen: EP06824015
Anmeldetag: 8. Dezember 2006
Veröffentlichung: 18. März 2009
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/20H01L21/02C30B25/00C30B29/06C30B29/60

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Electronics and Telecommunications Research Institute
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 ETRI (Electronics and Telecommunications Research Institute)

Südkoreanisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Daejeon. Forscht in Telekommunikation, Halbleitertechnik, künstlicher Intelligenz, Rundfunktechnik und Informations- und Kommunikationstechnologien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von