Neuartiger Abscheidungsplasma-Aushärtzyklusprozess zur Verbesserung der Filmqualität von Siliciumdioxid

EP2036120 Art A2 18. März 2009

Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2036120
Aktenzeichen: EP07784191
Anmeldetag: 29. Mai 2007
Veröffentlichung: 18. März 2009
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/302C23C16/04C23C16/40H01L21/316H01L21/762C23C16/56H01L21/02H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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