Phasenänderungs-Legierungsätzung
EP2036140
Art A1
18. März 2009
Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2036140
- Aktenzeichen
- EP07784377
- Anmeldetag
- 8. Juni 2007
- Veröffentlichung
- 18. März 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L45/00H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Lam Research Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Vertreten von
Browne, Robin Forsythe
Leeds, Großbritannien
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